產(chǎn)品分類(lèi)
Product CategoryNS系列精密接觸式臺(tái)階儀是一款為高精度微觀形貌測(cè)量設(shè)計(jì)的超精密接觸式儀器,通過(guò)2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協(xié)同工作,結(jié)合亞埃級(jí)分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準(zhǔn)測(cè)量臺(tái)階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數(shù))、膜層厚度及應(yīng)力分布,為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持。
NS系列納米級(jí)臺(tái)階儀線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器(LVDC),具有亞埃級(jí)分辨率,13μm量程下可達(dá)0.01埃。高信噪比和低線(xiàn)性誤差,使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺(tái)階的形貌特征。主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。
NS系列接觸式表面形貌臺(tái)階儀主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。單拱龍門(mén)式設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好,而且降低了周?chē)h(huán)境中聲音和震動(dòng)噪音對(duì)測(cè)量信號(hào)的影響,提高了測(cè)量精度。
NS系列高精度探針接觸式臺(tái)階儀單拱龍門(mén)式設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好,而且降低了周?chē)h(huán)境中聲音和震動(dòng)噪音對(duì)測(cè)量信號(hào)的影響,提高了測(cè)量精度。線(xiàn)性可變差動(dòng)電容傳感器(LVDC),具有亞埃級(jí)分辨率,13μm量程下可達(dá)0.01埃。高信噪比和低線(xiàn)性誤差,使得產(chǎn)品能掃描到幾納米至幾百微米臺(tái)階的形貌特征。
NS系列探針式薄膜厚度臺(tái)階儀通過(guò)2μm金剛石探針與LVDC傳感器的協(xié)同工作,結(jié)合亞埃級(jí)分辨率(5 Å)與智能化分析軟件,可精準(zhǔn)測(cè)量臺(tái)階高度(納米至1050μm)、表面粗糙度(Ra、Rz等參數(shù))、膜層厚度及應(yīng)力分布,為材料研發(fā)、工藝優(yōu)化與質(zhì)量管控提供可靠數(shù)據(jù)支持。
NS系列高精度探針式臺(tái)階儀主要用于臺(tái)階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數(shù)的測(cè)量。單拱龍門(mén)式設(shè)計(jì),結(jié)構(gòu)穩(wěn)定性好,而且降低了周?chē)h(huán)境中聲音和震動(dòng)噪音對(duì)測(cè)量信號(hào)的影響,提高了測(cè)量精度。
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