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VT6000三維形貌共聚焦材料測(cè)量顯微鏡單區(qū)域、多區(qū)域、拼接、自動(dòng)測(cè)量等多種測(cè)量模式可選擇，適應(yīng)多種現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用環(huán)境；Z軸上裝有防撞機(jī)械電子傳感器、軟件ZSTOP防撞保護(hù)功能，雙重保護(hù)。

有圖晶圓共聚焦高精度測(cè)量顯微鏡橫向分辨率高，所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì)，能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。可測(cè)各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。

VT6000材料共聚焦3D測(cè)量顯微鏡一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè)，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì)，能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。

VT6000超分辨率轉(zhuǎn)盤共聚焦顯微鏡以共聚焦技術(shù)為原理，結(jié)合精密縱向掃描等對(duì)器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像，是實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測(cè)量的光學(xué)檢測(cè)儀器。

VT6000國(guó)產(chǎn)轉(zhuǎn)盤共聚焦顯微鏡所展示的圖像形態(tài)細(xì)節(jié)更清晰更微細(xì)，橫向分辨率更高，擅長(zhǎng)微納級(jí)粗糙輪廓的檢測(cè)，能夠提供色彩斑斕的真彩圖像便于觀察。

VT6000共聚焦工件表面微觀形貌檢測(cè)顯微鏡一般用于略粗糙度的工件表面的微觀形貌檢測(cè)，可分析粗糙度、凹坑瑕疵、溝槽等參數(shù)。它在材料生產(chǎn)檢測(cè)領(lǐng)域中，測(cè)各類包括從光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。