在半導(dǎo)體設(shè)備這一精度決定成敗的戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè),同心度等關(guān)鍵幾何參數(shù)的精準(zhǔn)控制是保障設(shè)備可靠運(yùn)行、提升國(guó)產(chǎn)競(jìng)爭(zhēng)力的核心要素。設(shè)備中的微小瑕疵足以引發(fā)災(zāi)難性后果。以軸套為例,兩側(cè)圓柱用于裝配軸承,如果不同心,會(huì)造成軸在旋轉(zhuǎn)的時(shí)候別著勁,輕則只是噪音...
(1)指示表檢定儀在使用前,環(huán)境溫度應(yīng)盡量接近標(biāo)準(zhǔn)溫度(20℃)時(shí)進(jìn)行測(cè)量。在實(shí)際工作中,實(shí)驗(yàn)室應(yīng)有很好的保溫、恒溫措施,在指示表檢定儀進(jìn)行檢定時(shí),要盡量保持環(huán)境的溫度與檢定規(guī)程中所要求的溫度(一般為(20±2)℃)相一致。另...
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