在半導體設備這一精度決定成敗的戰略性產業,同心度等關鍵幾何參數的精準控制是保障設備可靠運行、提升國產競爭力的核心要素。設備中的微小瑕疵足以引發災難性后果。以軸套為例,兩側圓柱用于裝配軸承,如果不同心,會造成軸在旋轉的時候別著勁,輕則只是噪音...
光路調整是確保國產激光干涉儀精度的關鍵步驟。如果光路未正確調整,可能會導致以下問題:干涉條紋不清晰或不穩定:不良的光路對準會影響干涉圖案的清晰度,進而導致測量結果誤差。信號衰減:光路的錯誤調整可能導致激光強度降低,影響探測器的信號接收,降低...
在光學精密加工領域,微納結構元件的三維形貌檢測是保障器件性能的重要環節。以微透鏡陣列、衍射光學元件為代表的精密光學元件,其特征尺寸已突破亞微米量級,對表面輪廓精度與結構面形誤差的檢測要求達到納米級分辨率。若加工過程中產生的邊緣塌陷、周期畸變...
測針輪廓儀廣泛應用于表面輪廓測量,主要用于分析工件的表面特性,包括粗糙度、紋理、平整度、形狀誤差等。在進行精準的測量時,探頭的選擇至關重要,因為不同類型的探頭具有不同的測量能力和適應性。不同類型的探頭適用于不同的測量場景。以下是常見的幾種探...
晶圓是半導體制造的核心基材,所有集成電路(IC)均構建于晶圓之上,其質量直接決定芯片性能、功耗和可靠性,是摩爾定律持續推進的物質基礎。其中晶圓的厚度(THK)、翹曲度(Warp)和彎曲度(Bow)是直接影響工藝穩定性和芯片良率的關鍵參數:1...
在微觀世界的探索之旅中,精準測量材料如同在錯綜復雜的迷宮中尋找出口,是現代制造業和科研領域的關鍵任務。臺階儀、光學輪廓儀和共聚焦顯微鏡,這些看似冰冷的儀器設備,實則是微觀世界的“度量衡”,憑借其技術與性能,為我們解鎖微觀世界的厚度奧秘。Na...
當你用手機拍攝一朵花的微距照片時,放大100倍已足夠驚艷。但如果告訴你,科學家手中的"相機"能將物體放大百萬倍,連病毒表面的蛋白突觸都清晰可見,你是否會好奇這背后的黑科技?這把打開微觀宇宙的鑰匙,正是掃描電子顯微鏡(SEM)。SEM的"超能...
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