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中圖儀器SuperViewW系列0.1nm分辨率白光干涉光學輪廓儀能以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸，主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。

中圖儀器SuperViewW光學3D輪廓儀粗糙度在線檢測設備基于白光干涉原理，結合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等，以3D非接觸方式測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業及航空航天、科研院所等領域中。

SuperViewW廣東光學3D輪廓儀表面粗糙度檢測儀器基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。可對各種產品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

中圖儀器SuperViewW多模式三維光學輪廓儀提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能和自動拼接測量、定位自動多區域測量功能。它基于白光干涉原理，以3D非接觸方式，測量分析樣品表面形貌的關鍵參數和尺寸。

中圖儀器SuperViewW3d高倍光學輪廓儀是以白光干涉技術原理，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

中圖儀器SuperViewW1國產3D三維光學表面輪廓儀是利用光學干涉原理研制開發的超精細表面輪廓測量儀器。主要用于對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量。可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。