SJ6000激光干涉儀檢測設備除了環(huán)境適應能力好，還可以進行動態(tài)高速測量，選配相應的功能模塊元件后還可以測量振動幅度、平面度、線速度、角速度等。它集光、機、電、計算機等技術于一體，產品采用進口高性能氦氖激光器，其壽命可達50000小時；采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術，可實現(xiàn)高精度、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出。具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點。

SJ6000激光干涉儀量程精度

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

線性測量精度：0.5ppm（0-40）℃

線性測量距離：（0-80）m（無需遠距離線性附件）

角度測量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

產品功能

1.可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；

2.可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；

3.可實現(xiàn)對機床回轉軸的測量與校準；

4.可根據用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據；

5.具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等；

6.支持手動或自動進行環(huán)境補償。

SJ6000激光干涉儀檢測設備氦氖激光器持續(xù)輸出高穩(wěn)頻的激光源，再加上環(huán)境補償器，使線性測量的精度穩(wěn)定在0.5ppm，動態(tài)采集數(shù)據頻率高達50KHz，測量速度4m/sec，高速測量下的分辨率為1nm。