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共聚焦顯微鏡在光學(xué)膜片表面微結(jié)構(gòu)測(cè)量中的應(yīng)用

更新時(shí)間:2023-07-21      點(diǎn)擊次數(shù):819
在當(dāng)前的液晶顯示器行業(yè),TFT液晶面板因其顯示反應(yīng)速度更快更適用于動(dòng)畫(huà)及顯像顯示的特點(diǎn)而得到廣泛應(yīng)用。作為配套組件的背光顯示模組,為其供應(yīng)充足且分布均勻的光源亮度,使得液晶面板的顯像功能能夠正常工作。液晶面板消費(fèi)需求的不斷增長(zhǎng)帶動(dòng)了上游背光顯示模組和作為模組核心材料光學(xué)膜片的大量投產(chǎn)。

光學(xué)膜片作為背光顯示模組的核心材料,其對(duì)光線(xiàn)的匯聚效果決定著背光模組的效能,進(jìn)而直接影響著液晶面板的顯像效果。而光學(xué)膜片對(duì)光線(xiàn)的匯聚效果則是由分布在其表面的陣列微結(jié)構(gòu)的輪廓尺寸所決定,因而需要對(duì)微結(jié)構(gòu)的輪廓尺寸參數(shù)進(jìn)行檢測(cè)與管控,以滿(mǎn)足設(shè)計(jì)要求和確保最終液晶面板有著良好的顯像效果。

圖片

光學(xué)膜片

光學(xué)膜片工件具有尺寸大、輕薄的特點(diǎn),其重心易受空氣流動(dòng)而產(chǎn)生抖動(dòng),其表面呈透明反射率低的特征,且微結(jié)構(gòu)有微棱鏡結(jié)構(gòu)、微透鏡結(jié)構(gòu)和金字塔結(jié)構(gòu)等多種類(lèi)型,均具備較大的傾角特征,整體輪廓尺寸又在微米量級(jí)因而精度要求到亞微米級(jí)。針對(duì)具有四個(gè)測(cè)量難點(diǎn)的光學(xué)膜片檢測(cè)需求,在微納級(jí)檢測(cè)儀器領(lǐng)域面臨著精度夠的角度測(cè)量能力不足、角度測(cè)量能力夠的精度無(wú)法滿(mǎn)足要求的窘境。
作為一家具備多款微納級(jí)3D顯微測(cè)量?jī)x器的廠商,中圖儀器,為光學(xué)膜片的檢測(cè),提供了專(zhuān)業(yè)的解決方案——VT6000共聚焦顯微鏡,搭配50×、100×高數(shù)值孔徑的APO復(fù)消色差物鏡。在測(cè)量時(shí)由于其基于鏡頭焦深的原理不會(huì)受到樣件本身輕微抖動(dòng)的影響,同時(shí)高倍APO物鏡所具有的大角度測(cè)量能力搭配儀器自身納米級(jí)的掃描分辨率,能夠輕松實(shí)現(xiàn)透明表面微結(jié)構(gòu)的3D圖像重建和輪廓尺寸的高精度測(cè)量,在下述視頻中可直觀的了解光學(xué)膜片表面微結(jié)構(gòu)的測(cè)量過(guò)程。
中圖儀器,贊29
從視頻中可知,中圖儀器共聚焦顯微鏡能夠?qū)鈱W(xué)膜表面微結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)快速自動(dòng)化測(cè)量,并提供高度、寬度和角度等一系列輪廓尺寸參數(shù)對(duì)表面質(zhì)量進(jìn)行表征,幫助客戶(hù)實(shí)現(xiàn)光學(xué)膜片表面質(zhì)量的檢測(cè)與管控。

如下圖所示,在實(shí)現(xiàn)表面微結(jié)構(gòu)3D圖像的高精度重建與測(cè)量的同時(shí),共聚焦顯微鏡以其明顯優(yōu)于金相顯微鏡的橫向分辨率,也能夠提供表面微結(jié)構(gòu)的清晰影像圖片,幫助更細(xì)致的觀察微結(jié)構(gòu)的表面特征,從圖像可知,在高倍率鏡頭下,棱鏡峰側(cè)壁的刀具磨損紋路痕跡明顯,金字塔頂和底部界限分明,微透鏡表面粒子邊緣清晰。

光學(xué)膜片表面微結(jié)構(gòu)3D圖像、影像圖
隨著液晶顯示屏在朝著輕薄化、高清化的方向發(fā)展,其核心材料光學(xué)膜片也在往薄型化、高亮度化、高色域化的方向發(fā)展,屆時(shí)其表面微結(jié)構(gòu)的特征尺寸也將更加多樣化和小型化,這勢(shì)必將對(duì)測(cè)量?jī)x器提出更高的要求。中圖儀器,將不斷迭代最新的光學(xué)測(cè)量技術(shù),不斷提升VT6000共聚焦顯微鏡的產(chǎn)品性能,始終滿(mǎn)足客戶(hù)的測(cè)量要求,為客戶(hù)提供*專(zhuān)業(yè)的產(chǎn)品方案和服務(wù)。

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